西蓉北郊。
西南特zhong电气工业公司。
虽然六月末的西蓉,天气十分酷热。
但为了热烈欢迎,远dao而来的樱花半导ti考察团。
shen为公司总经理的汪学斌。
还是无惧炎热,带着公司高层,在办公楼前列队等候。
之所以如此热忱。
当然因为他对这一次的合作jiaoliu,抱有非常大的期望。
公司虽然从事工业气ti研制生产很多年。
但过去市场需求有限、销售业绩不高,也不太可能下大力气进行相关技术研究。
谁也没想到……
这两年龙国的制造业,像是坐上了火箭似的,增chang势tou无比迅猛。
金属冶炼、石油化工、机械制造、食品加工、电子及半导ti、医疗qi械……
因为工业生产中不少环节,是不能直接暴lou于空气之中,需要特殊气ti参与反应。
所以制造业越发达,对工业气ti的需求量就越大。
如果只是需要常见的氦气、氮气、氧气、二氧化碳等等这些。
汪学斌还不至于那么tou疼。
毕竟这些常用工业气ti的加工制备,技术工艺早就相对成熟。
可问题是……
龙国的电子信息产业,发展速度太迅猛了。
为了追求高jing1度、高质量、高xing能,电子信息产业,对工业气ti不仅需求量很大,要求还很高。
哪怕只是生产ye晶显示面板所需要的氮气、氦气、氧气和氢气,纯度都要比食品工厂的高很多。
于是乎。
有关bu门就将工业气ti,分成了大宗气ti和特zhong气ti这两大类。
将用于满足冶金、化工、机械制造等普通工业生产的大宗气ti研制任务,从公司剥离了出去。
让公司专门负责,研究生产用于满足集成电路、ye晶面板、医疗仪qi、芯片制造的特zhong气ti。
这个任务,真是光荣又艰ju啊!
光荣在于研制特zhong气ti,有力支撑龙国的高端制造业发展,是利国利民的一件大好事。
艰ju在于特zhong气ti,是真不好研制。
就拿生产芯片来说。
从最开始制造硅片,将高纯度硅拉单晶、磨外圆、切片、倒角、磨削等等制造成晶圆,就需要大量使用高纯度的氯化氢、氢气和氩气了。
而开始进行光刻加工的时候,需要氟气、氪气、氖气等好几zhong特zhong气ti。
刻蚀清洗,除了常用的几zhong特zhong气ti,还需要溴化氢、氯化氢、二氟甲烷、三氯化硼、六氟化硫等等二十几zhong。
离子注入的时候,又需要氟化砷、四氟化硅、氙气等。
掺杂之时要乙硼烷、砷化氢,以及不少han硼磷砷的三族及五族原子之气。
除此之外,还有很多工艺环节,都还需要相应的特zhong气ti。
林林总总加一起。
要想生产高xing能的合格芯片,竟然需要一百多zhong特zhong气ti。
需要的特zhong气tizhong类多,都还不算什么难事。
真正让人tou疼的,是这些特zhong气ti的纯度要求太高了。
用于普通工业生产的大宗气ti,纯度只要达到了99.99%,就已经很不错了。
而用于电子科技产品的呢?
哪怕只是生产6寸以下、不低于0.25微米线宽的晶tiguan和晶闸guan,纯度都要百分之九十九点九九九。
而要生产大规模集成电路、特殊电子元qi件、纳米级线宽大尺寸芯片,需要的纯度,必须高于百分之九十九点九九九九。
特zhong气ti的纯度越高,越有利于芯片加工生产,可以大大提高芯片的良品率。
可是纯度已经很高的气ti,再想进一步的提纯,难度实在是太大了。
就像一张满分是一百的试卷。
从六十分及格,努力学习考到九十分并不难,因为提升空间很大。
再努努力,从九十分提升到九十五分,也并非不可能。
但九十五分以上,想一题不错的考个满分,就真是太难了。
什么电解法、化学法、xi附法、jing1馏法等等,各zhong方式方法看似不少。
但不同的方法,需要不同的设备和工艺,里面的门dao实在是太多了。
就像同样是电解法,需要的直liu电应该多大电liu?多高电压?作用多chang时间才能确保氧化还原最佳?
而用化学法提纯六氟化钨、三氯氢硅等,又需要用什么样的cui化剂、在怎样的容qi中进行反应?
而且xi附法制备六氟丁二烯、高纯砷烷等气ti,xi附装置、xi附材料、chui扫设备等等,也需要很考验技术功底。
至于mo分离、气ti分离、冷冻分离、cui化分离等等手段,对没从事过相关研究的人来说,那就更是难以想象的困难了。
然而……
如何提纯获得超高纯度的特zhong气ti,就已经技术门槛很高,需要耗时多年进行潜心研究、不断改进。
而除了制取难、提纯难之外,特zhong气ti的存储与运输,也是一大难题。
用于存储运输的钢瓶,不仅要承受足够的压强、经得起腐蚀、扛得住温差,关键还是要足够的干净。
这zhong‘干净’,可以说几乎要不han一丁点杂质。
公司经过很多研究试验,才摸索出了钢瓶的加工制造方法。
用特殊钢材制造的钢瓶,经过反复的清洗和抛光后,再用热氮气chui干水分,随后瓶阀、检漏,放入高温烘箱进行真空干燥。
经过chang时间干燥的钢瓶,还不能立刻使用,要再一次进行杂质和水分检验,符合标准后才能在超洁净室内进行特zhong气ti的guan装。
在摸索出这个办法之前,公司需要耗费不少资金,采购进口的钢瓶存储特zhong气ti。
在总务院的大力支持下,调集众多专家学者奋力研究,终于探索出了一整tao钢瓶及其阀门guan线制造、清洗、烘干等标准。
这一下,光是钢瓶的采购费,都能省下一大笔钱。
不过再想存储更高纯度的特zhong气ti,就需要更高技术水平的钢瓶,这方面公司也还在努力探索之中。
总之。
对现在的西南特zhong电气工业公司来说。
他们在总务院的大力支持下,在众多科研院校和相关企业的力ting下。
已经基本掌握了各zhong特zhong气ti的制取、提纯和存储技术。
可这些技术,都只是填补了国内的技术空白。
说白了,还只是解决了有无问题。
如何更加方便快捷的制取?
如何高效便宜的提高纯度?
如何安全简便的运输jiao付?
这些方面,他们还很欠缺
技术不够先进、工艺不够成熟,结果自然是生产周期chang、成本高。
所以……
眼看着国内电子信息产业,对特zhong气ti的需求持续增加。
眼看着源源不断的订单涌来,但公司却挣不到多少钱。
辛辛苦苦忙活,却没什么利run。
汪学斌自然无比着急。
为此。
除了下大力气,组织进行科研
西南特zhong电气工业公司。
虽然六月末的西蓉,天气十分酷热。
但为了热烈欢迎,远dao而来的樱花半导ti考察团。
shen为公司总经理的汪学斌。
还是无惧炎热,带着公司高层,在办公楼前列队等候。
之所以如此热忱。
当然因为他对这一次的合作jiaoliu,抱有非常大的期望。
公司虽然从事工业气ti研制生产很多年。
但过去市场需求有限、销售业绩不高,也不太可能下大力气进行相关技术研究。
谁也没想到……
这两年龙国的制造业,像是坐上了火箭似的,增chang势tou无比迅猛。
金属冶炼、石油化工、机械制造、食品加工、电子及半导ti、医疗qi械……
因为工业生产中不少环节,是不能直接暴lou于空气之中,需要特殊气ti参与反应。
所以制造业越发达,对工业气ti的需求量就越大。
如果只是需要常见的氦气、氮气、氧气、二氧化碳等等这些。
汪学斌还不至于那么tou疼。
毕竟这些常用工业气ti的加工制备,技术工艺早就相对成熟。
可问题是……
龙国的电子信息产业,发展速度太迅猛了。
为了追求高jing1度、高质量、高xing能,电子信息产业,对工业气ti不仅需求量很大,要求还很高。
哪怕只是生产ye晶显示面板所需要的氮气、氦气、氧气和氢气,纯度都要比食品工厂的高很多。
于是乎。
有关bu门就将工业气ti,分成了大宗气ti和特zhong气ti这两大类。
将用于满足冶金、化工、机械制造等普通工业生产的大宗气ti研制任务,从公司剥离了出去。
让公司专门负责,研究生产用于满足集成电路、ye晶面板、医疗仪qi、芯片制造的特zhong气ti。
这个任务,真是光荣又艰ju啊!
光荣在于研制特zhong气ti,有力支撑龙国的高端制造业发展,是利国利民的一件大好事。
艰ju在于特zhong气ti,是真不好研制。
就拿生产芯片来说。
从最开始制造硅片,将高纯度硅拉单晶、磨外圆、切片、倒角、磨削等等制造成晶圆,就需要大量使用高纯度的氯化氢、氢气和氩气了。
而开始进行光刻加工的时候,需要氟气、氪气、氖气等好几zhong特zhong气ti。
刻蚀清洗,除了常用的几zhong特zhong气ti,还需要溴化氢、氯化氢、二氟甲烷、三氯化硼、六氟化硫等等二十几zhong。
离子注入的时候,又需要氟化砷、四氟化硅、氙气等。
掺杂之时要乙硼烷、砷化氢,以及不少han硼磷砷的三族及五族原子之气。
除此之外,还有很多工艺环节,都还需要相应的特zhong气ti。
林林总总加一起。
要想生产高xing能的合格芯片,竟然需要一百多zhong特zhong气ti。
需要的特zhong气tizhong类多,都还不算什么难事。
真正让人tou疼的,是这些特zhong气ti的纯度要求太高了。
用于普通工业生产的大宗气ti,纯度只要达到了99.99%,就已经很不错了。
而用于电子科技产品的呢?
哪怕只是生产6寸以下、不低于0.25微米线宽的晶tiguan和晶闸guan,纯度都要百分之九十九点九九九。
而要生产大规模集成电路、特殊电子元qi件、纳米级线宽大尺寸芯片,需要的纯度,必须高于百分之九十九点九九九九。
特zhong气ti的纯度越高,越有利于芯片加工生产,可以大大提高芯片的良品率。
可是纯度已经很高的气ti,再想进一步的提纯,难度实在是太大了。
就像一张满分是一百的试卷。
从六十分及格,努力学习考到九十分并不难,因为提升空间很大。
再努努力,从九十分提升到九十五分,也并非不可能。
但九十五分以上,想一题不错的考个满分,就真是太难了。
什么电解法、化学法、xi附法、jing1馏法等等,各zhong方式方法看似不少。
但不同的方法,需要不同的设备和工艺,里面的门dao实在是太多了。
就像同样是电解法,需要的直liu电应该多大电liu?多高电压?作用多chang时间才能确保氧化还原最佳?
而用化学法提纯六氟化钨、三氯氢硅等,又需要用什么样的cui化剂、在怎样的容qi中进行反应?
而且xi附法制备六氟丁二烯、高纯砷烷等气ti,xi附装置、xi附材料、chui扫设备等等,也需要很考验技术功底。
至于mo分离、气ti分离、冷冻分离、cui化分离等等手段,对没从事过相关研究的人来说,那就更是难以想象的困难了。
然而……
如何提纯获得超高纯度的特zhong气ti,就已经技术门槛很高,需要耗时多年进行潜心研究、不断改进。
而除了制取难、提纯难之外,特zhong气ti的存储与运输,也是一大难题。
用于存储运输的钢瓶,不仅要承受足够的压强、经得起腐蚀、扛得住温差,关键还是要足够的干净。
这zhong‘干净’,可以说几乎要不han一丁点杂质。
公司经过很多研究试验,才摸索出了钢瓶的加工制造方法。
用特殊钢材制造的钢瓶,经过反复的清洗和抛光后,再用热氮气chui干水分,随后瓶阀、检漏,放入高温烘箱进行真空干燥。
经过chang时间干燥的钢瓶,还不能立刻使用,要再一次进行杂质和水分检验,符合标准后才能在超洁净室内进行特zhong气ti的guan装。
在摸索出这个办法之前,公司需要耗费不少资金,采购进口的钢瓶存储特zhong气ti。
在总务院的大力支持下,调集众多专家学者奋力研究,终于探索出了一整tao钢瓶及其阀门guan线制造、清洗、烘干等标准。
这一下,光是钢瓶的采购费,都能省下一大笔钱。
不过再想存储更高纯度的特zhong气ti,就需要更高技术水平的钢瓶,这方面公司也还在努力探索之中。
总之。
对现在的西南特zhong电气工业公司来说。
他们在总务院的大力支持下,在众多科研院校和相关企业的力ting下。
已经基本掌握了各zhong特zhong气ti的制取、提纯和存储技术。
可这些技术,都只是填补了国内的技术空白。
说白了,还只是解决了有无问题。
如何更加方便快捷的制取?
如何高效便宜的提高纯度?
如何安全简便的运输jiao付?
这些方面,他们还很欠缺
技术不够先进、工艺不够成熟,结果自然是生产周期chang、成本高。
所以……
眼看着国内电子信息产业,对特zhong气ti的需求持续增加。
眼看着源源不断的订单涌来,但公司却挣不到多少钱。
辛辛苦苦忙活,却没什么利run。
汪学斌自然无比着急。
为此。
除了下大力气,组织进行科研